フラットトップ/ビームホモジナイザ Flat Top/Beam Homogenizer
フラットトップ/ビームホモジナイザーは、トップハット、長方形、正方形、ライン形状など、さまざまなフィールド形状とビーム形状に対応できます。 技術的限界までの均一性（最大1% の均一性）を実現します。 高NA、高充填率、偏光の維持を実現します。 最大90%の光効率を持ち、高価なレーザーエネルギーコストの削減に寄与します。 高品質の溶融石英(fused silica)で製造されており、さまざまなレーザー光源（エキシマレーザー、固体レーザー、ダイオード レーザーなど）に適しています。 円形、六角形、正方形などのカスタマイズされた自由形状表面を、最高の精度と、さまざまなウェハーサイズ（最大 8 インチ）で実現します。 ■　仕様 Part No.  Product Code Material  Pitch  Dimensions  Radius of Curvature Lens Layout  Lens Type  Download Beam Homogenizer 18-00128 Fused Silica 250 μm 10 x 10 mm 0.711 mm±5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00135 Fused Silica 300 μm 10 x 10 mm 3.6 mm ± 5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00131 Fused Silica 300 μm 10 x 10 mm 0.38 mm±5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00112 Fused Silica 500 μm 10 x 10 mm 1.5 mm ± 5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00094 Fused Silica 500 μm 10 x 10 mm 2.04 mm ± 5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00109 Fused Silica 500 μm 10 x 10 mm 5 mm±5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00121 Fused Silica 500 μm 10 x 10 mm 3 mm±5% Single-Sided cylindrical Beam Homogenizer 18-00087 Fused Silica 250 μm 5 x 5 mm 0.35 mm±5% Hexagonal Grid Single-Sided circular Beam Homogenizer 18-00987 Fused Silica 250 μm 10 x 10 mm 0.35 mm±5% Hexagonal Grid Single-Sided circular Beam Homogenizer 18-00244 Fused Silica 250 μm 10 x 10 mm 0.75 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00251 Fused Silica 250 μm 5 x 5 mm 0.75 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00265 Fused Silica 300 μm 10 x 10 mm 0.38 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00279 Fused Silica 300 μm 5 x 5 mm 0.29 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00278 Fused Silica 300 μm 10 x 10 mm 0.29 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00834 Fused Silica 350 μm 10 x 10 mm 0.73 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00271 Fused Silica 400 μm 10 x 10 mm 0.7 mm±5% Double-Sided Lenses Parallel cylindrical Beam Homogenizer 18-00988 Fused Silica 250 μm 10 x 10 mm 0.29 mm±5% Double-Sided Hexagonal Grid circular
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