高出力レーザ用ホモジナイザモジュール
Homogenizer Module for high-power laser
このビーム整形用標準ホモジナイザーモジュールにより、エキシマ、Nd:YAG、ハイパワーレーザダイオードのビームを、均一なラインビームまたは矩形ビームにすることが可能です。
カスタムで、窒素冷却用コネクタの取付けも致します。
光源とアプリケーションの間に、お客様のご要望に沿った、あらゆるビーム形状に対応した完璧なビーム整形システムを、LIMO社は作製致します。
■ 仕様
波長 193nm
-
フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm]
品番
0.5×0.5
75
303.001
0.75×0.75
120
303.002
1×1
95
303.003
1.5×1.5
120
303.004
2×2
180
303.005
3.2×3.2
180
303.006
4.2×4.2
220
303.007
5.1×5.1
180
303.008
6.1×6.1
220
303.009
7.5×7.5
180
303.010
8.3×8.3
300
303.011
9.4×9.4
220
303.012
11.7 x 11.7
220
303.013
15.7 x 15.7
300
303.014
20 x 20
180
303.015
23.5 x 23.5
220
303.016
波長 248nm
-
フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm]
品番
0.5×0.5
85
303.101
0.75×0.75
130
303.102
1×1
105
303.103
1.5×1.5
130
303.104
2×2
200
303.105
3.2×3.2
200
303.106
4.2×4.2
250
303.107
5.1×5.1
200
303.108
6.1×6.1
250
303.109
7.5×7.5
200
303.110
8.3×8.3
330
303.111
9.4×9.4
250
303.112
11.7 x 11.7
250
303.113
15.7 x 15.7
330
303.114
20 x 20
200
303.115
23.5 x 23.5
250
303.116
波長 532nm
-
フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm]
品番
0.5×0.5
90
303.201
0.75×0.75
145
303.202
1×1
120
303.203
1.5×1.5
145
303.204
2×2
220
303.205
3.2×3.2
220
303.206
4.2×4.2
270
303.207
5.1×5.1
220
303.208
6.1×6.1
270
303.209
7.5×7.5
220
303.210
8.3×8.3
370
303.211
9.4×9.4
270
303.212
11.7 x 11.7
270
303.213
15.7 x 15.7
370
303.214
20 x 20
220
303.215
23.5 x 23.5
270
303.216
波長 790-990nm
-
フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm]
品番
0.5×0.5
95
303.301
0.75×0.75
150
303.302
1×1
125
303.303
1.5×1.5
150
303.304
2×2
225
303.305
3.2×3.2
225
303.306
4.2×4.2
280
303.307
5.1×5.1
225
303.308
6.1×6.1
280
303.309
7.5×7.5
225
303.310
8.3×8.3
380
303.311
9.4×9.4
280
303.312
11.7 x 11.7
280
303.313
15.7 x 15.7
380
303.314
20 x 20
225
303.315
23.5 x 23.5
280
303.316
波長 1064nm
-
フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm]
品番
0.5×0.5
95
303.401
0.75×0.75
150
303.402
1×1
125
303.403
1.5×1.5
150
303.404
2×2
225
303.405
3.2×3.2
225
303.406
4.2×4.2
280
303.407
5.1×5.1
225
303.408
6.1×6.1
280
303.409
7.5×7.5
225
303.410
8.3×8.3
380
303.411
9.4×9.4
280
303.412
11.7 x 11.7
280
303.413
15.7 x 15.7
380
303.414
20 x 20
225
303.415
23.5 x 23.5
280
303.416
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