高出力レーザ用ホモジナイザモジュール
Homogenizer Module for high-power laser
このビーム整形用標準ホモジナイザーモジュールにより、エキシマ、Nd:YAG、ハイパワーレーザダイオードのビームを、均一なラインビームまたは矩形ビームにすることが可能です。
カスタムで、窒素冷却用コネクタの取付けも致します。
光源とアプリケーションの間に、お客様のご要望に沿った、あらゆるビーム形状に対応した完璧なビーム整形システムを、LIMO社は作製致します。


■ 仕様
波長 193nm
-フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm] 品番
0.5×0.5 75 303.001
0.75×0.75 120 303.002
1×1 95 303.003
1.5×1.5 120 303.004
2×2 180 303.005
3.2×3.2 180 303.006
4.2×4.2 220 303.007
5.1×5.1 180 303.008
6.1×6.1 220 303.009
7.5×7.5 180 303.010
8.3×8.3 300 303.011
9.4×9.4 220 303.012
11.7 x 11.7 220 303.013
15.7 x 15.7 300 303.014
20 x 20 180 303.015
23.5 x 23.5 220 303.016


波長 248nm
-フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm] 品番
0.5×0.5 85 303.101
0.75×0.75 130 303.102
1×1 105 303.103
1.5×1.5 130 303.104
2×2 200 303.105
3.2×3.2 200 303.106
4.2×4.2 250 303.107
5.1×5.1 200 303.108
6.1×6.1 250 303.109
7.5×7.5 200 303.110
8.3×8.3 330 303.111
9.4×9.4 250 303.112
11.7 x 11.7 250 303.113
15.7 x 15.7 330 303.114
20 x 20 200 303.115
23.5 x 23.5 250 303.116

波長 532nm
-フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm] 品番
0.5×0.5 90 303.201
0.75×0.75 145 303.202
1×1 120 303.203
1.5×1.5 145 303.204
2×2 220 303.205
3.2×3.2 220 303.206
4.2×4.2 270 303.207
5.1×5.1 220 303.208
6.1×6.1 270 303.209
7.5×7.5 220 303.210
8.3×8.3 370 303.211
9.4×9.4 270 303.212
11.7 x 11.7 270 303.213
15.7 x 15.7 370 303.214
20 x 20 220 303.215
23.5 x 23.5 270 303.216


波長 790-990nm
-フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm] 品番
0.5×0.5 95 303.301
0.75×0.75 150 303.302
1×1 125 303.303
1.5×1.5 150 303.304
2×2 225 303.305
3.2×3.2 225 303.306
4.2×4.2 280 303.307
5.1×5.1 225 303.308
6.1×6.1 280 303.309
7.5×7.5 225 303.310
8.3×8.3 380 303.311
9.4×9.4 280 303.312
11.7 x 11.7 280 303.313
15.7 x 15.7 380 303.314
20 x 20 225 303.315
23.5 x 23.5 280 303.316

波長 1064nm
-フィールドサイズ
[mm]
作動距離 [mm] 品番
0.5×0.5 95 303.401
0.75×0.75 150 303.402
1×1 125 303.403
1.5×1.5 150 303.404
2×2 225 303.405
3.2×3.2 225 303.406
4.2×4.2 280 303.407
5.1×5.1 225 303.408
6.1×6.1 280 303.409
7.5×7.5 225 303.410
8.3×8.3 380 303.411
9.4×9.4 280 303.412
11.7 x 11.7 280 303.413
15.7 x 15.7 380 303.414
20 x 20 225 303.415
23.5 x 23.5 280 303.416
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