スーパーポリッシュ
Superpolished Surface Roughness Optical Components
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Gooch&Housego社(米)は、40年以上にわたりスーパーポリッシュ技術を提供しています。
スーパーポリッシュの特長は、粗さ＜1Å、S/D＜5/2、平坦度＞λ/20です。
欠陥、損失、散乱が極めて少ないため、高性能のレーザ用途に最適です。
＜特 長＞
・表面粗さ < 1Å
・S/D < 5/2
・平坦度 >λ/20
＜スーパーポリッシュ可能な基板材料＞
Zerodur、溶融石英、SiC、サファイア、BK7、水晶、CaF2、YAG、LuAg、ZnSe など100種以上
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Superpolish
粗さ = 0.2Å
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Very Good Polish
粗さ = 1.5Å
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Commercial Polish
粗さ = 5Å
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＜標準仕様および型番＞
■両端平面基板
| 型 番 |
材 質 |
サイズ [inch] |
厚 み [inch] |
| GO-FS050-1 |
溶融石英 |
0.500 |
0.200 |
| GO-FS100-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
| GO-FS150-1 |
溶融石英 |
1.500 |
0.375 |
| GO-FS200-1 |
溶融石英 |
2.000 |
0.375 |
| GO-Z100-1 |
Zerodur |
1.000 |
0.250 |
| GO-Z200-1 |
Zerodur |
2.000 |
0.375 |
| GO-S100-1 |
シリコン |
1.000 |
0.250 |
| GO-S200-1 |
シリコン |
2.000 |
0.375 |
■平凹基板
| 型 番 |
材 質 |
サイズ [inch] |
厚 み [inch] |
曲率半径 [m] |
| GFS-0.25M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
0.25 |
| GFS-0.5M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
0.5 |
| GFS-1.0M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
1.0 |
| GFS-2.0M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
2.0 |
| GFS-4.0M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
4.0 |
| GFS-10.0M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
10.0 |
| GFS-20.0M-1 |
溶融石英 |
1.000 |
0.250 |
20.0 |
| GFS-0.5M2-1 |
溶融石英 |
2.000 |
0.250 |
0.5 |
| GFS-1.0M2-1 |
溶融石英 |
2.000 |
0.250 |
1.0 |
| GFS-2.0M2-1 |
溶融石英 |
2.000 |
0.250 |
2.0 |
■標準品の仕様
| 公 差： |
直径公差+0.00/-0.005inch、厚み公差+/-0.020inch |
| S1面： |
表面粗さ<1Å RMS、平坦度>λ/10@633nm、S/D=10/5(MIL-0-13830A)
※追加コストで表面のプロファイルデータもご提供可能 |
| S2面： |
レーザグレード研磨（シリコン、Zerodurの場合は砂ズリ）、平坦度>λ/4@633nm、S/D=40/20
粗さ測定なし |
| 平行度： |
<3' |
| クリアアパーチャ： |
中心から80% |
| 側面マーキング： |
S1面に向かって矢印マーキング |
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