高品質イオンアシストデポジション(IAD)コーティング

Quality Thin Films(QTF)社は、独自の高品質IAD(EIAD)コーティングの開発に成功しました。
IADコーティングは、IBS(Ion Beam Sputtering)と従来のEB(Electron Beam)蒸着双方の特質を持つコーティングです。
IADコーティングは、非常に高い密度・均質性・安定性を有します。

IADコーティングは、通常のEBコーティングより多少高価となりますが、IBSコーティングよりは格段に安価で提供可能です。

■　コーティングの特性

屈　折　率： 一般的なEBコーティングより3〜5%高い屈折率になります。　
厚 　　　さ： 優れた膜厚の制御が可能です　
密 　　　度： 従来のEBコーティングですと、工程後1%以内の幅で密度がシフトしています。
IADコーティングでは、シフト幅を0.2%以内となります。
化学量論： QTF社が開発したコーティング材料は、低吸収とコーティング安定性と共に
屈折率の均一性に優れています。
ミクロ均質（構造）： ミクロレベルで非常に均質性に優れたコーティングを可能にします。
また、非常に散乱損失が少ないコーティングです。
マクロ均質（配分）： 均質蒸着プロファイルの作成が可能です。
これにより、厳しいスペクトル仕様でありましても、大きな部品や
量産部品への均一性の高いコーティングが可能になります。
少ない膜数： EBコーティングより約75%少ない膜数で設計可能です。


■　IADコーティング仕様

　用途範囲 　コーティング可能な材質
　低損失コーティング 　SiO2
　高ダメージ耐久用 　BK7
　ダイクロイック用 　CaF2
　2波長、3波長、ブロードバンドARコーティング 　Al2O3
　レーザ結晶へのコーティング 　YAG
　非線形結晶へのコ−ティング 　YLF
　導波路 　YVO4
　OPO又はOPA用 　KTP
　LBO
　波長 　BBO
　UV光　266nm 　SVAP
　可視光 400-700nm 　ZnSe
　赤外光 700-1400nm 　ZnS
　アイセーフ光 1400-1600nm 　GaAs
　中赤外 2-5μm 　Ge
　遠赤外光 8-12μm 　Amtir
　SF11
　コーティング材料
　酸化物 　コーティング可能な材質の外径
　フッ化物 　最小外径：　0.5mm
　金属
 　最大外径：　152mm
　ITO（導電膜）

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