THz Fabry-Perot Etalon(TFPF) は、2つの平行な反射面が一定距離のファブリーペロー干渉計です。
標準的な両平面ウィンドウよりも高い平面度・平行度でエタロンを構成し、エタロンの厚みを高精度に測定します。
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標準仕様
| 材質 |
HRFZ-Si |
| タイプ |
テラヘルツ波用ファブリーペローエタロン |
| 直径 |
25.4mm〜150mm |
| アパーチャ |
≧90% |
TFPEは以下の用途でも使用可能です。
・TDSシステム較正
・ナローバンドTHz発振器の調整
・スペクトル法を用いたTHz帯での厚み測定
TFPEはナローバンドフィルタとしても使用できます。エタロンの僅かなズレで透過帯の調整が可能です。
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使用例 |
TFPE使用例として、サンプルの厚みを正確に測定するTDSシステム手順の較正を行います。下図1は実験用のセットアップです。
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| 図1：実験用セットアップ |
図2：厚み3.042mmのTFPE透過スペクトル(@ 0.5〜1Thz域) |
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この実験ではTFPE透過スペクトル測定も行われ、回折最大値間の距離を決定しています。図2を参照下さい。
距離、HRFZ-Siの屈折率(3.416)が与えられれば、TFPEの厚みが計算できます。計測値は品質保証書の値と一致するはずです。
不一致の場合は、TDSシステムに不具合があります。
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メーカ標準ラインナップ |
| 品番 |
直径 |
見積厚み |
エタロンのパラメータ |
| 実際の厚み*1 |
フリースペクトル帯(FSR)*2 |
バンド幅 |
Finesse(F)*3 |
| TEFPHRFZ-Si-D25.4-T3 |
25.4mm |
3.0mm |
3.042mm |
14.4GHz |
5.5GHz |
2.6 |
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*1：0.001mmの精度での測定
*2：フリースペクトル帯(FSR)はTFPEの縦モード間の周波数オフセット
FSR=c/2nL, cを光のスピード, LをTEPEの厚み, nをHRFZ-Siの屈折率としてFSRを計算
*3：Finesse(F)はFSRとバンド幅(FWHM)の比、F=(2xπ)/(-Ln(R^2)), RはTFPEの反射コヒーレント
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