テラヘルツ波用ビームスプリッタ
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Tydexは、二つのタイプのビームスプリッタを提供します。
シングルパスビームスプリッタは、ビームスプリッタを介して、一度ビームが発振通過する光学構成内で
使用されます。
マルチパスビームスプリッタは、スプリッタを介して、何度かビームが通過する干渉計構造内で使用されます。
テラヘルツビームスプリッタの材料は、HRFZ-Siです。これらのビームスプリッタは、コーティングを除き、
広波長域で、約54／46 (%) の透過率／反射率の比率で、動作します。
反射率と透過率曲線は下記の通りです。
図1 HRFZ-Si 透過率と反射率（試料厚さ 5mm)
1. シングルパステラヘルツビームスプリッタ
シングルビームスプリッタの仕様はHRFZ-Siウインドウと同じです。
実際、平面−平面HRFZ-Siウインドウは、シングルパスビームスプリッタとして、使用する事が出来ます。
共通仕様
| 基板材料 |
HRFZ-Si |
| タイプ |
plano-plano |
| サイズ, mm |
to 150 |
| 直径 もしくは 断面積公差,mm |
+0.0 /-0.1 |
| 厚さ公差, mm |
+/0.1 |
| クリアアパーチャ, % |
>=90 |
| 平行度, arc. min |
3 |
| 表面仕上, スクラッチ/ディグ |
60/40 |
| 面精度, mm |
理想平面から+/-0.01分布 |
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2. マルチパステラヘルツビームスプリッタ
シングルビームスプリッタとは、対照的にマルチパステラヘルツビームスプリッタ（干渉計用）は、
高精度に加工されます。
共通仕様
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| 基板材料 |
HRFZ-Si |
| タイプ |
plano-plano |
| サイズ, mm |
to 150 |
| 直径 もしくは 断面積公差,mm |
+0.0 /-0.1 |
| 厚さ公差, mm |
+/0.01 |
| クリアアパーチャ, % |
>=90 |
| 平行度, arc. sec |
5 |
| 表面仕上, スクラッチ/ディグ |
60/40 |
| 面精度, λ@633nm |
1 |
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THｚスペクトラルスプリッタ 標準仕様
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| No. |
直径 |
厚さ |
| mm |
mm |
| 1 |
40×30 |
3.5 |
| 2 |
50.8 |
3.5 |
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