TECHNOLOGIES OF AR NANO-TEXTURE


本製品に使われている技術は非常に新しく、今後も開発発展の要素を含みます。
お客様のご要望を満たすために、開発も含めた詳細な技術検討が必要となる製品ですので、本製品の
販売対象は大口の需要が見込まれるお客様のみに限定しています。少量販売は行っておりません。



目次

■ AR機能の原理

◆ その他の微細構造パターン

■ 特長

◆ 高い透過率、AOI

◆ 基板と同等の極めて高いレーザ耐性

◆ 超低吸収による表面の発熱と熱レンズ効果の抑制

◆ 高い疎水性

◆ あらゆる材料に加工可能
■ 洗浄時の注意
 
 
 

■ AR機能の原理

TelAztec社のコア技術は、プラズマエッチングによってどんな基板でも微細構造を形成することができる技術です。
基板表面に伝送波長よりも小さい微細構造を形成し、空気から基板へ実効屈折率(effective refractive index)を連続的・漸近的に変化させることで境界面の反射、干渉、散乱を無くすことで、無反射特性を得ることができます。自然界では蛾の目(Moth eye)がこのような構造を持つことから、モスアイ構造とも呼ばれます。セミやトンボの透明な羽にも同様の構造が見られます。


Λは透過したい波長より小さくする必要がある。短波長ほどΛの微小化が求められる。
表面でのフレア・散乱、干渉を抑えるためにも波長より十分な小ささが必要。
hは透過波長の2倍以上の高さ(深さ)が必要。長波長ほど高い(深い)加工が必要。
入射角度が多少きつくても漸近的な実効屈折率変化が得られるため、広い入射角で高い透過率を維持できる。



　◆ その他の微細構造パターン

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　　　　Random

Λは透過波長に対し十分な小ささがあれば良いので、規則的に並んでいる必要はない。 超広帯域で優れた透過特性を持つ。

   
   
　　　　Sub Wavelength Structure (SWS)

規則的なステップ型の微細構造により、空気と基板の屈折率の間で、任意の実効屈折率を得る。単層ARコーティングと同等の特性を得られるだけでなく、設計波長で極めて高い透過率を得られる。単層コーティングの屈折率は材料依存だが、Nano-texture技術ならΛの設計次第で自由に屈折率を得ることができる。




■ 特長

　◆ 高い透過率、AOI

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　　　　広い帯域で高い透過率

出典：CW laser damage testing of RAR nano-textured Fused Silica and YAG. page 5, - B. MacLeod, D. Hobbs, A. Manni, E. Sabatino, D. Bernot, S. DeFrances, J. Randi, J. Thomas, Proc. SPIE 10447, 1044705 (2017) LD XLIX
https://www.telaztec.com/Resources/TelAztec_SPIE1044705_RAR-FS-YAG-CW-LiDT_25SEP2017.pdf

   
   

入射角別透過率。OPTIMAX社協力による測定データ。AOIが大きくなっても低い反射率を維持。




　◆ 極めて高いレーザ耐性

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基板表面に誘電体多層膜が存在しないため、コーティング由来の損傷リスクが存在しない。基板と同等のレーザ耐性が得られる。

28.3J/cm2 @ 355nm

26.5J/cm2 @ 532nm

35.6J/cm2 @ 1064nm

　　39.0J/cm2 @ 1538nm



　◆ 超低吸収

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コーティングに吸収あり。およそ2~4ppm。ハイパワービーム照射時にこれが熱となる。


　　　溶融石英ウィンドウの熱
ノンコート研磨 Rare AR textured 誘電体多層膜ARコート
Thermal images of untreated (left), RAR textured (middle), and thin film AR coated (right) samples, at onset of maximum power and after 30 seconds dwell.
出典：CW laser damage testing of RAR nano-textured Fused Silica and YAG, page 6, - B. MacLeod, D. Hobbs, A. Manni, E. Sabatino, D. Bernot, S. DeFrances, J. Randi, J. Thomas, Proc. SPIE 10447, 1044705 (2017) LD XLIX https://www.telaztec.com/Resources/TelAztec_SPIE1044705_RAR-FS-YAG-CW-LiDT_25SEP2017.pdf


　　　Endcap
伝送無し 1.5kW 2.8kW 発熱を抑え熱レンズ効果を低減
RAR加工したエンドキャップの測定温度




　◆ 高い疎水性

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　　　　高い疎水性とコンタミが付着しにくい表面
　　　　表面を常にクリーンに保つ
　　　　太陽光パネルの表面等、屋外で使用する透過材料にも最適




　◆ あらゆる材料に加工可能

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　■Fused silica ■BK7 ■YAG ■Sapphire ■SiC ■Diamond
　■Ge ■CaF2 ■Si ■GaAs ■As2Se3 ■As2S3
　■ZnGeP2 ■ZnS ■ZnSe ■Spinel ■CZT ■AMTIR
　■Plastic ほか        




　◆ 洗浄時の注意

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表面の微細構造を守るため、誘電体多層膜コーティングの
表面を洗浄するような、洗浄液を浸して拭く、あるいは
キムワイプ等で拭く、という方法は行わないでください。
洗浄液の残留物がコンタミとなって微細構造の隙間の
奥に浸入してしまいます。
 
　　推奨方法
1. まず下記A)〜C)どれかを実施
　A)表面をメタノールかIPAですすぐ
　B)アンモニア水溶液か石鹸水で浸す
　C)コンタミがひどい場合はピラニア溶液(硫酸と過酸化水素水の混合液)の酸性で強力に溶かします
2. その後、IPAですすぐ
3. 最後に、空気、窒素またはCO2のブローで表面を完全に乾かす  




 
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